Swift Package Manager(SPM)のPackage.swiftに追加したbinaryTargetが同じバージョンのまま変更された場合、checksumが違うのでダウンロードできなくなる。

.binaryTarget(name: "XXXX",
              url: "https://github.com/xxx/xxx-ios/releases/download/x.x.x/xxxxx.zip",
              checksum: "xxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxx"),

あれこれ個別に削除してもダメで、以下のフォルダーを全部削除したらなおった。

rm -rf ~/Developer/Xcode/DerivedData
rm -rf ~/Library/Caches/org.swift.swiftpm
rm -rf ~/Library/org.swift.swiftpm
rm -rf (Package)/.build
rm -rf (Package)/.swiftpm